半導體清洗段案例分析

凱福科技針對單晶硅片制造清洗工藝提出了驅(qū)動器+一體式旋轉(zhuǎn)平臺的方案,。具有速度波動平穩(wěn),，體積尺寸小等特點。【應用案例】半導體行業(yè)EtherCAT總線驅(qū)控一體轉(zhuǎn)臺應用

2023-08-23 08:45:40   編輯：lwy    2010

　　作為半導體制造工藝中的重要一環(huán),，單晶硅硅片制造工藝尤為重要。多晶硅片經(jīng)過切片,、倒角,、研磨、表面處理,、拋光,、外延等不同工序加工后，表面已經(jīng)受到嚴重的玷污,，因此有一個很重要的工藝段便是清洗,，其目的就是為了去除硅片表面顆粒、金屬離子以及有機物等污染,。

　　凱?？萍坚槍尉Ч杵圃烨逑垂に囂岢隽薙SDC集成式EtherCAT總線驅(qū)動器+YKW系列一體式轉(zhuǎn)臺的方案。具有尺寸更小,，速度波動平穩(wěn)等特點,。

工藝流程圖

案例展示

方案優(yōu)勢

驅(qū)控一體尺寸更小

速度更穩(wěn)